一、产品概述

HRSR膜厚传感器提供半导体复杂膜层在线量测解决方案。

二、产品特点

■ 超精密厚度测量，满足5μm-800um的厚度监测 ；

■ 可测量所有具有粗糙、反射或不透明表面 ；

■ 对恶劣的工业环境适应性高 ；

■ 对热、湿或振动不敏感； 

■ 采样速率大于3KHz。

三、测量原理

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  发布时间：2023-12-08 14:06

  永久有效

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